الجرافين هو المادة العجيبة الجديدة للإلكترونيات المرنة ذات المساحة الكبيرة. صلب ومرن بشكل خاص ، لأنه قريب كيميائي من الماس أو الفحم أو الجرافيت من الرصاص قلم رصاص - فقط أفضل ، لأنه يوصل الكهرباء والحرارة بشكل جيد للغاية ومرن للغاية. بالإضافة إلى ذلك ، مع طبقة ذرية واحدة فقط ، فهي واحدة من أنحف المواد في الكون - أقل من جزء من المليون من المليمتر. وبالتالي مناسبة للعديد من التطبيقات الممكنة.
عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
ومع ذلك ، لا يزال هناك في كثير من الأحيان نقص في عمليات التصنيع المثبتة لهذا التطبيق. ومع ذلك ، هناك بالفعل طرق مختلفة لتوليف الجرافين على نطاق واسع. أثبت ترسيب البخار الكيميائي أنه واعد. يتم تمرير مادة البداية ، الغاز الكربوني (ما يسمى السلائف) ، فوق ركيزة وتتحلل كيميائيا ، حيث يتم ترسيب الجرافين كفيلم الحالة الصلبة ، أي يتم تشكيل طبقة جديدة.
عادة ما يتم تفكيك السلائف المزعومة حراريا. عن طريق تسخين الركيزة. ومع ذلك ، فإن هذا يؤدي إلى تقييد أنه يجب أن يكون ركيزة يمكنها تحمل الحمل الحراري. ومع ذلك ، هناك الآن أنواع مختلفة من إجراء الأمراض القلبية الوعائية للحد من هذه الآثار السلبية.
طرق الأمراض القلبية الوعائية الشائعة
فيما يلي لمحة موجزة عن طرق الأمراض القلبية الوعائية الشائعة.
- APCVD: الضغط الجوي CVD. هنا ، درجة حرارة العمل النموذجية هي 400-1300 درجة مئوية
- LPCVD: الضغط المنخفض CVD. هنا ، درجة حرارة العمل النموذجية هي 500-1000 درجة مئوية
- PECVD: الأمراض القلبية الوعائية المعززة بالبلازما. هنا ، درجة حرارة العمل النموذجية هي 200-500 درجة مئوية
- ALD: ترسيب الطبقة الذرية. عملية دورية تسهل تحقيق سمك طبقة دقيق بسبب الدورات المختلفة.
- إجراء HFCVD. هنا ، درجة حرارة العمل النموذجية هي 150-1100 درجة مئوية
لا يزال ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هو الطريقة الأكثر فعالية لإنتاج الجرافين. لا يزال ، ليس 100 في المئة الأمثل. لذلك ، يستمر تطوير طرق مختلفة للأمراض القلبية الوعائية لتحسين العملية وتمكين الإنتاج الموثوق به على نطاق واسع.
