Bernilai mengetahui: prosedur CVD
Penggantian ITO: Graphene

Graphene adalah bahan keajaiban baru untuk elektronik fleksibel kawasan besar. Terutama keras dan berdaya tahan, kerana ia adalah relatif kimia berlian, arang batu atau grafit plumbum pensil - hanya lebih baik, kerana ia mengalirkan elektrik dan haba dengan sangat baik dan sangat fleksibel. Di samping itu, dengan hanya satu lapisan atom, ia adalah salah satu bahan paling nipis di alam semesta - kurang daripada satu juta milimeter tebal. Oleh itu, sesuai untuk pelbagai aplikasi yang mungkin.

Proses pemendapan wap kimia (CVD)

Walau bagaimanapun, selalunya masih terdapat kekurangan proses pembuatan yang terbukti untuk aplikasi ini. Walau bagaimanapun, sudah ada pelbagai kaedah untuk sintesis graphene berskala besar. Pemendapan wap kimia telah terbukti menjanjikan. Bahan permulaan, gas karbonaceous (yang dipanggil prekursor), diluluskan di atas substrat dan terurai secara kimia, di mana graphene disimpan sebagai filem keadaan pepejal, iaitu lapisan baru terbentuk.

Pelopor yang dipanggil biasanya dibongkar secara haba. Dengan memanaskan substrat. Walau bagaimanapun, ini membawa kepada sekatan bahawa ia mestilah substrat yang boleh menahan beban haba. Walau bagaimanapun, kini terdapat varian yang berbeza dalam prosedur CVD untuk mengurangkan kesan negatif ini.

Kaedah CVD biasa

Berikut adalah gambaran ringkas mengenai kaedah CVD biasa.

APCVD: CVD Tekanan Atmosfera. Di sini, suhu kerja biasa ialah 400-1300 °C

  • LPCVD: CVD Tekanan Rendah. Di sini, suhu kerja biasa ialah 500-1000 °C
  • PECVD: CVD Dipertingkatkan Plasma. Di sini, suhu kerja biasa ialah 200-500 °C
  • ALD: Pemendapan Lapisan Atom. Proses kitaran yang menjadikannya lebih mudah untuk mencapai ketebalan lapisan yang tepat kerana kitaran yang berbeza.
  • Prosedur HFCVD. Di sini, suhu kerja biasa ialah 150-1100 °C

Pemendapan wap kimia (CVD) masih merupakan cara yang paling berkesan untuk menghasilkan graphene. Namun, tidak 100 peratus optimum. Oleh itu, pelbagai kaedah CVD terus dibangunkan untuk meningkatkan proses dan membolehkan pengeluaran berskala besar yang boleh dipercayai.